Широко используемые аббревиатуры для фильтрующих вентиляторов по производству полупроводников
Основной рабочий процесс её следующий:
(1) Процессор кондиционирования воздуха (свежий воздух), обработанный до нужной точки состояния, направляемый в коробку статического давления и обратной смеси воздуха, а затем вентилятор вентилятора фильтра под давлением высокоэффективным фильтром (HEPA) или ультраэффективными фильтрами (ULPA), фильтруемым в чистую комнату;
(2) исходный старый воздух через приподнятый пол или боковую стенку подаёт обратно к сухим катушкам, в сухих катушках — в холодной (горячей) обработке, а затем обратно в прессуризованную машину, отправляемую обратно в статический пресс-бокс, это завершает процесс.
(3) После холодной (горячей) обработки в сухом спирале он возвращается обратно в коробку статического давления с помощью обратного пресса, завершая весь цикл фильтрации воздуха в чистой комнате.
Такая система чаще всего используется в местах, где требуется сверхтихая чистая комната, например, в чистых помещениях для изготовления больших пластин интегральных схем, TFT-дисплеев, твердотельных жёстких дисков и так далее.
Для тех, кто хочет улучшить свою чистую комнату, Выпускной вентилятор серии FKL55 с фильтром — отличный выбор. Эта линейка продукции обеспечивает превосходную фильтрацию и очистку воздуха, обеспечивая чистую комнату без загрязнений. Нажмите на ссылку, чтобы узнать больше и приобрести покупку напрямую на нашем сайте.
На этот раз мы вводим терминологию, используемую в полупроводниковых приложениях:
Центральная коммунальная станция CUP
OWW Organic Waste Water
DAHW Drain Amonia Hydride Waste
Сточные воды с фосфорной кислотой PAW
VMB Valve Manifold Box
