Широко используемые аббревиатуры для фильтрующих вентиляторов по производству полупроводников


Вентиляторный фильтр, или FFU, как мы его часто называем, — это самостоятельное устройство фильтрации и очистки, в основном с вентиляторами и высокоэффективными фильтрами, сочетающимися с конечным оборудованием для очистки.

Основной рабочий процесс её следующий:
(1) Процессор кондиционирования воздуха (свежий воздух), обработанный до нужной точки состояния, направляемый в коробку статического давления и обратной смеси воздуха, а затем вентилятор вентилятора фильтра под давлением высокоэффективным фильтром (HEPA) или ультраэффективными фильтрами (ULPA), фильтруемым в чистую комнату;
(2) исходный старый воздух через приподнятый пол или боковую стенку подаёт обратно к сухим катушкам, в сухих катушках — в холодной (горячей) обработке, а затем обратно в прессуризованную машину, отправляемую обратно в статический пресс-бокс, это завершает процесс.
(3) После холодной (горячей) обработки в сухом спирале он возвращается обратно в коробку статического давления с помощью обратного пресса, завершая весь цикл фильтрации воздуха в чистой комнате.

Такая система чаще всего используется в местах, где требуется сверхтихая чистая комната, например, в чистых помещениях для изготовления больших пластин интегральных схем, TFT-дисплеев, твердотельных жёстких дисков и так далее. 

Для тех, кто хочет улучшить свою чистую комнату, Выпускной вентилятор серии FKL55 с фильтром — отличный выбор. Эта линейка продукции обеспечивает превосходную фильтрацию и очистку воздуха, обеспечивая чистую комнату без загрязнений. Нажмите на ссылку, чтобы узнать больше и приобрести покупку напрямую на нашем сайте.

На этот раз мы вводим терминологию, используемую в полупроводниковых приложениях:
Центральная коммунальная станция CUP 
GEX General EXhaust 
СЕКС-СКРУББЕР ЭКСхауст 
VEX Летучее органическое соединение EXhaust 
AEX Аммиак EXhaust 
Вода для охлаждения процессов PCW 
Вакуум процесса фотоэлектрического процесса 
Вакуум HV House 
CW City Water  
FMCS Faility Monitoring Contro System         
MCC Motor Control Center                  
VFD Variable Frequency Device                 
CCTV Close Circuit Televsion                
PA Public Adress system 
FA  Fire Alarm  system 
UPW Ultra Pure Water 
FWW    Fluoride Waste Water 
IWW Industry Waste Water            
OWW Organic Waste Water       
DAHW  Drain Amonia  Hydride  Waste                  
RCL  Recycle water  
RCM Reclaim water  
HFW High Fluoride Waste water                  
BGW Backgriding Waste water                   
SAW Sulfuric Acid Waste water        
Сточные воды с фосфорной кислотой PAW                  
SW  Stripper Waste water 
TW Thinner Waste water  
Сточные воды PIX Pix
SLOW Оксидная шламовая сточные воды                  
SLWP Металлические шламовые сточные воды                   
Сточные воды SLWP Poly                  
PN2 Process N2                   
GN2 General N2  
CDA  Compressor  Dry Air         
VMB  Valve Manifold Box                  
 
Система кондиционирования воздуха             
AHU  Air Handling Unit                   
MAU  Make-up  Air Unit  
VAV  Variable Air Volume  box  
FFU  Блок фильтра вентилятора                  
HEPA  High Efficiency Particulate Filter         
ULPA  Ultra Low Penetration Filter                  
A/S Air  Shower 
CUP  Central Utility Plant  
 
Энергетическая система                 
Система управления мониторингом отказа FMCS                  
MCC Motor Control Center                  
VFD   Variable Frequency Device                  
CCTV  Close Circuit Televsion                    
SCADA Supervisory  Control And Data Acquisition   
MCC  Motor Control  Center  
VFD   Variable Frequency Device