Часто используемые аббревиатуры для производства полупроводников Фильтрующий вентиляторный блок


Фильтрующий блок вентилятора, или FFU, как мы его часто называем, представляет собой автономное устройство фильтрации и очистки, в основном с вентиляторами и высокоэффективными фильтрами в сочетании с концом очистного оборудования.

Его основным рабочим процессом является:
(1) С помощью процессора кондиционирования воздуха воздух (свежий воздух), обработанный до требуемого состояния, направляется в камеру статического давления и смесь обратного воздуха, а затем после вентилятора фильтрующего вентилятора, нагнетаемого под давлением высокоэффективного фильтра (HEPA) или сверхвысокоэффективных воздушных фильтров (ULPA), фильтруется в чистую комнату;
(2) Исходный старый воздух через фальшпол или боковую стену подается обратно в сухие змеевики, в сухие змеевики при холодной (горячей) обработке, а затем обратно в машину под давлением отправляется обратно в бокс статического давления, это завершает процесс.
(3) После холодной (горячей) обработки в сухом змеевике он возвращается в бокс статического давления с помощью обратного пресса, который завершает весь цикл фильтрации воздуха в чистом помещении.

Такая система чаще всего используется в местах, где есть потребность в сверхтихих чистых помещениях, таких как чистые помещения для изготовления больших интегральных пластин, TFT-дисплеев, твердотельных жестких дисков и так далее.

Для тех, кто хочет улучшить свою чистую комнату, Вытяжной вентилятор серии FKL55 с фильтром является отличным выбором. Эта линейка продуктов обеспечивает превосходную фильтрацию и очистку воздуха, гарантируя, что ваше чистое помещение останется чистым без загрязнений. Нажмите на ссылку, чтобы узнать больше и приобрести прямо на нашем сайте.

На этот раз мы представляем терминологию, используемую в полупроводниковых приложениях:
Центральная коммунальная станция CUP
GEX General EXhaust
СЕКС Скруббер EXhaust
VEX Летучее оргаиновое соединение EXhaust
AEX Аммиак EXhaust
Технологическая охлаждающая вода PCW
Фотоэлектрический технологический вакуум
Высоковольтный пылесос для дома
CW Сити Уотер
FMCS Система контроля отказов
Центр управления электродвигателями MCC
Частотно-регулируемое устройство
Система видеонаблюдения
Система публичного обращения PA
Система пожарной сигнализации FA
UPW Ультра чистая вода
FWW Фтористые сточные воды
Промышленные сточные воды ИРМ
Органические сточные воды OWW
DAHW Дренаж аммонийных гидридных отходов
RCL Оборотная вода
RCM Рекуперация воды
HFW Сточные воды с высоким содержанием фтора
BGW Backgriding Сточные воды
Сточные воды серной кислоты SAW
PAW Сточные воды с фосфорной кислотой
SW Stripper Сточные воды
TW Разбавитель сточных вод
Сточные воды PIX Pix PIX
Сточные воды из шлама SLOW Oxide
SLWP Сточные воды из металлического шлама
Сточные воды из навозной жижи SLWP Poly
Процесс PN2 N2
ГН2 Общий N2
Компрессор CDA для сухого воздуха
Коробка клапанного коллектора VMB
 
система кондиционирования воздуха         
Приточно-вытяжная установка AHU
Установка подпиточного воздуха MAU
Коробка переменного объема воздуха VAV
Фильтрующий блок вентилятора FFU
Высокоэффективный сажевый фильтр HEPA
Фильтр сверхнизкого проникновения ULPA
Кондиционер Воздушный душ
Центральная коммунальная станция CUP
 
Система питания             
FMCS Система контроля отказов
Центр управления электродвигателями MCC
Частотно-регулируемое устройство
Система видеонаблюдения
Диспетчерское управление SCADA и сбор данных
Центр управления электродвигателями MCC
Частотно-регулируемое устройство